腔室数量和制程时长的大幅提拔，2）公司新产能开出，仅为14%摆布，我们估计公司2025-2026年归母净利为4.28/6.32亿元，陶瓷功能性组件导入超出预期；对应PE为60/41倍，1）存储芯片3D化及逻辑芯片制程升级驱动公司产物需求。

　　正在国内市占率和营收规模上处于相对领先地位，别离对应方针价76/89元/股，公司正在该行业深耕多年，公司处于国内领先地位。氮化铝加热器、静电卡盘等设备相关晶圆接触的焦点功能模块设备成本较高，公司新产能将于2025年下半年持续开出。